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四合院:我邊做科研邊吃瓜 第179章 單晶到底怎么造
段工重新接過電話,對高振東笑道:“高主任,別的啥也不說了,又麻煩你一次,你放心,我保證,但凡有你們的石墨構(gòu)件單子,我每次都親自盯緊。”
這倒是個好事,能最大程度的保證單晶爐石墨構(gòu)件的源頭質(zhì)量。
機(jī)要通話的資源還是很寶貴的,事情說完,再次互祝新年之后,掛斷了通話。
對于一些石墨材料制作中的其他問題,碳研院沒問,高振東也是沒法主動說的,一來,也許他們的選擇更優(yōu),二來,還有個保密規(guī)定在呢,就算是技術(shù)顧問也不能隨便問對方主動給出的信息之外的話題。
看看日歷,還有兩天就要除夕了。
高振東從機(jī)要室出來,沒有回辦公室,而是去了單晶爐試驗室。
這邊的具體事務(wù),是俞允成在負(fù)責(zé)。
有這位科班出身的人在,高振東也很放心,他領(lǐng)先的是思路和原理,具體細(xì)節(jié)就不見得比俞允成更好了。
俞允成負(fù)責(zé)具體的落地過程,比他更合適。
“高主任,區(qū)熔法具體一點(diǎn)是個什么回事呢?”
聽見高振東這個話,俞允成這個在當(dāng)前已經(jīng)算是硅單晶制作的專業(yè)人士嘴巴張大了,高主任說的這些,相當(dāng)一部分根本沒聽說過,就這一句話,就夠他琢磨好些年的了。
然后高振東就告訴了他為什么一開始不做區(qū)熔法:“但是從這兩個方法來看,適應(yīng)范圍最廣、晶體直徑最容易做大、技術(shù)更簡單的,是直拉法。”
區(qū)熔法則是把硅棒吊起來,把下端燒化,然后往下拉晶。
高振東笑著道:“嗯,俞工,現(xiàn)在情況怎么樣?”
“高主任,從原理上分析,區(qū)熔法比直拉法的材料純度要高,我們?yōu)槭裁床恢苯佑脜^(qū)熔法搞。”
看見高振東過來,俞允成也走了過來,正好他有些積累的問題想問一下:“高主任,過來了?”
說到這里,他順勢提出了自己心中的疑問。
高振東笑著道:“不止我們現(xiàn)在正在做的直拉法和區(qū)熔法,做硅單晶的辦法還有很多,比如基座法、片狀單晶生長、氣相生長、鑄錠法、液相外延等等。”
高振東點(diǎn)點(diǎn)頭:“沒錯,不過這些方法都有這樣那樣的問題,總的來說,電子技術(shù)上用的半導(dǎo)體材料,在我看來,相當(dāng)一段時間內(nèi)最合適的還就是正在搞的直拉法和你說的區(qū)熔法。”
俞允成情緒也很不錯:“還比較順利,正在一項一項的裝,一項一項的調(diào)。”
這個話一開始他是不太好問的,這涉及到原理路線問題了,看見高振東的單晶爐設(shè)計那么完整,一開始問這個話有點(diǎn)全盤推翻的感覺。
俞允成對于區(qū)熔法有所了解,但是對于區(qū)熔法的原理和具體實現(xiàn)方法是不了解的,大概就處于聞名但是但未見面的程度。
俞允成聽見了有些驚訝:“啊,這樣啊,好像是比較難控制。”
簡單來說,直拉法是把硅在鍋里燒化,然后往上拉晶。
不愧是搞這個的,一聽就明白,高振東笑道:“對,這個方法熔化的硅液主要靠表面張力維持不掉落,所以直徑想做大,比直拉法要困難,同時整個拉晶過程的可控性差,容易導(dǎo)致晶體結(jié)構(gòu)缺陷。”
高振東干脆把區(qū)熔法的原理向俞允成介紹了一遍。
“有這么多方法?”他樣子有點(diǎn)傻呆呆的。
聽見高振東肯定了自己的想法,俞允成心里很有幾分竊喜。
實際上哪怕到了幾十年后,半導(dǎo)體用硅單晶的生產(chǎn)方法還是以這兩個為主,其中直拉法占了75左右的產(chǎn)量。
俞允成明白了:“嗯,看來選擇技術(shù)路線不能光靠單一指標(biāo),還是要綜合考慮的。”
高振東笑道:“說對了,對于現(xiàn)在來說,直拉法的缺陷是可以通過設(shè)計手段來彌補(bǔ)或者削弱的,比如增加石英內(nèi)坩堝。而它的好處卻是實實在在的,我們不是搞理論研究,理論研究可以只盯著高處,我們搞的是應(yīng)用研究,還是要看看周圍。”
俞允成更加明白了:“啊,我還奇怪為什么要多此一舉在石墨坩堝內(nèi)再套一層石英坩堝呢,原來是我沒考慮周全。”
高振東道:“對于我們現(xiàn)在的需求來說,區(qū)熔法的好處實際上是用不怎么上的,但是壞處卻是實實在在的存在。而直拉法生產(chǎn)效率高,自動化生產(chǎn)技術(shù)難度低,更容易控制摻雜濃度,更容易制備大直徑單晶,這些可都是我們現(xiàn)在急需的。”
半導(dǎo)體器件用的單晶體,基底的摻雜本來就是常用工序之一,在這一點(diǎn)上,直拉比區(qū)熔可就方便多了。
說完,又補(bǔ)充了一句:“等到直拉的有眉目了,再去搞區(qū)熔,畢竟區(qū)熔也有它的好處。”
俞允成對高振東這堂課心服口服,來這里果然來對了,不但學(xué)到了技術(shù),還學(xué)會了科研的思想。
所以他對于開口向高振東學(xué)習(xí),沒有一點(diǎn)不好意思,不趕緊趁高主任有空,多扒拉點(diǎn)東西,那高主任不白來了。
“高主任,在我看來,只要坩堝加熱溫度穩(wěn)定,熱場就是穩(wěn)定的,坩堝的加熱溫度可以靠電源功率控制來完成,而拉晶的提拉旋轉(zhuǎn)和高度可以靠籽晶那頭控制,為什么坩堝這頭還要增加復(fù)雜的坩堝升降和旋轉(zhuǎn)控制呢,這不是大大增加了系統(tǒng)的復(fù)雜程度嗎。”
高振東聽見這個,明白他是真的深入思考過,對于他提到的各個子系統(tǒng)的功能和在系統(tǒng)中發(fā)揮的作用都有了較為深入的思考,只是現(xiàn)在還主要靠經(jīng)驗在思考問題,缺乏一定的理論支撐而已。
能清晰的分辨出子系統(tǒng)功能和子系統(tǒng)作用,對于一部分人來說,這已經(jīng)不容易了。
簡單來說,功能,指的是這個子系統(tǒng)能干什么事情。
而作用,則是這個子系統(tǒng)的功能,能為整個系統(tǒng)帶來什么好處或者影響。
前者是因,后者是果。
有時候有的人容易陷入功能崇拜里面去,這個功能越多越好,越復(fù)雜越好,至于能起到什么作用,是不是對系統(tǒng)有利,或者為了這點(diǎn)兒利益付出這么大代價是否值得,沒想過或者沒想好。
高振東前世的導(dǎo)師舉過一個例子,某項目中,為了每幾分鐘在相隔500米的兩地傳輸1k字節(jié)不到的數(shù)據(jù),設(shè)計單位決定在兩地之間拉一條單模光纖。
然后歷數(shù)他們?yōu)榱诉@條光纖,做了多少考慮,什么地線復(fù)合光纜防雷,光纜鎧裝防物理破壞,深挖深埋防壓
高振東的導(dǎo)師是審項目的,就問了一個問題:“你們難道就不會用VHF數(shù)傳電臺?低速率下可靠性有保證,安裝簡單,無需維護(hù),通過協(xié)議控制能把數(shù)據(jù)到達(dá)率保證得很好,價格便宜,千把塊錢就能弄一對非常好的。”
對方啞口無言,不過,也許傻的不是設(shè)計單位,而是高振東的導(dǎo)師吧。
所以聽見俞允成問這個問題,高振東還是很高興的,向他仔細(xì)的解釋。
“我增加這個系統(tǒng),不是為了拉晶的提拉旋轉(zhuǎn)控制的,是為了熱場控制。”
“石墨坩堝旋轉(zhuǎn),一部分是為了均勻受熱,畢竟再好的控制系統(tǒng),也不能保證加熱爐中各處的溫度均勻,要注意一個問題,在拉晶過程中,晶體的成型,受熱場的溫度梯度影響非常大。”
“溫度梯度?”
“對,在某個方向上,溫度的變化情況。分徑向溫度梯度和縱向溫度梯度,前者你可以看成是晶體圓截面上的溫度梯度,后者,則是高度方向上的溫度梯度。”
這下子,俞允成有點(diǎn)明白了。
高振東拿過紙筆,給俞允成畫出了拉晶過程中的溫度梯度曲線,詳細(xì)解釋了溫度梯度的來源和影響。
俞允成和周圍在觀看學(xué)習(xí)的科研組員,都覺得打開了一扇新世界的大門,以前的很多相關(guān)經(jīng)驗,都可以在這個里面得到解釋。
最后,高振東總結(jié)道:“徑向溫度梯度,原則上是要越均勻越好的,這就是剛才我說的要把坩堝轉(zhuǎn)起來的部分原因。”
“而坩堝的升降,也是類似。徑向溫度梯度的影響剛才你們都看見了,要高一點(diǎn),這樣才能及時散掉單晶硅生長的結(jié)晶潛熱,保持界面溫度穩(wěn)定。但是又不能太高,太高了可能產(chǎn)生多晶或者大量結(jié)構(gòu)缺陷。”
見大家都明白這個原理,高振東才說出來增加坩堝升降系統(tǒng)的原因:“而增加溫度梯度最簡單的辦法之一,就是增加坩堝的高度,換言之,調(diào)節(jié)縱向溫度梯度最簡單的手段,就是升降坩堝。當(dāng)然.”
高振東話還沒說完,俞允成已經(jīng)學(xué)會搶答了:“還有就是,可以配合其他控制系統(tǒng)一起,調(diào)節(jié)爐溫、改善結(jié)晶條件和環(huán)境、調(diào)整結(jié)晶狀態(tài)?”
高振東笑著道:“對!”
這一番話下來,其實已經(jīng)把單晶結(jié)晶的核心控制條件講了個明明白白,在座的人,日后不說做個單晶爐吧,但是修個單晶爐可能還是有思路的。
至于俞允成這種本來就是大牛的人,更是獲益良多。
(本章完)
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