工業(yè)之動(dòng)力帝國(guó) 第274章 分子級(jí)別超純水

發(fā)覺了梁遠(yuǎn)發(fā)呆，兩個(gè)丫頭到是知道梁遠(yuǎn)又走神去想剛剛說忽然忘掉的東西去了。

雙胞胎咬著一根吸管，心不在焉的輕點(diǎn)著頭，用吸管戳著“葡萄汽水”已經(jīng)見底了的玻璃酒杯，用很好奇的目光盯著梁遠(yuǎn)看。

“嘉嘉，你說豬頭是不是想起來什么了？”

“嗯～，看起來很像呢。”

好奇歸好奇，怕打擾了梁遠(yuǎn)思路的兩個(gè)丫頭只是小聲的聊著天，還敏銳的幫梁遠(yuǎn)留意著四周，怕過來打招呼的熟人干擾到。

大約過了五六分鐘，冥思苦想中的梁遠(yuǎn)眉頭一展，伸手呯的拍了一下身前的桌面，由于力量很足的緣故把桌面上的酒杯都震得小小的位移了一下。

“小遠(yuǎn)，想起來了么？”

雙胞胎異口同聲的問道。

“嗯～！”

梁遠(yuǎn)重重的點(diǎn)了點(diǎn)頭。

“小遠(yuǎn)想起來的是什么？”

寧婉嘉好奇的問道。

“嗯，走，和我下樓說～。”

梁遠(yuǎn)拉起兩個(gè)丫頭的手起身就向樓下走。

兩個(gè)丫頭跟著梁遠(yuǎn)離開食堂，沿著小路來到湖邊，梁遠(yuǎn)指著星光點(diǎn)點(diǎn)的湖面笑著說道：“明兒打造一個(gè)兩噸重的獎(jiǎng)?wù)聛G湖里，用來獎(jiǎng)勵(lì)帶來靈感的南湖。”

“小遠(yuǎn)，究竟是什么啊？”

兩個(gè)丫頭疑惑的盯著湖水看了又看，也沒想明白這普普通通的湖水能看出來什么靈感。

“稍等稍等，一會(huì)來車你倆就明白了～。”

梁遠(yuǎn)笑著說道。

磁懸浮列車的測(cè)試強(qiáng)度很大，三人在湖邊站了五分鐘左右，一列三節(jié)重聯(lián)的藍(lán)色磁懸浮膠囊列車從湖岸南邊的叢林里轉(zhuǎn)出，幾個(gè)呼吸就上了越湖軌道。

梁遠(yuǎn)想和兩個(gè)丫頭分享自己的喜悅，也沒用折射、反射之類的物理概念來解釋自己剛剛回憶起來的靈感，決定原滋原味的重演現(xiàn)實(shí)。

“仔細(xì)看湖面上的列車燈光投影～”

梁遠(yuǎn)指著湖面上磁懸浮膠囊列車留下的藍(lán)色光斑投影快速說道。

“仔細(xì)看，投影在水面上是不是在不停的波動(dòng)～”

“嗯，是吖～”

“波動(dòng)的原因應(yīng)該是風(fēng)吹的嘛。”

“看光斑的大小變化是不是一會(huì)類似正方形一會(huì)類似長(zhǎng)方形～”

梁遠(yuǎn)給了個(gè)提示。

“嗯，是的，就是不太明顯。”

“如果把磁懸浮膠囊列車看做光源，那么這個(gè)不停變化寬度的光線投影你倆能聯(lián)想起什么？”

這事兒本來就是因?yàn)楣饪虣C(jī)而起的，兩個(gè)丫頭自然會(huì)第一時(shí)間往這個(gè)主題上靠，雙胞胎盯著水面上的投影沉默了幾秒鐘，猛的回味了過來。

“小遠(yuǎn)你是說用水改變光源的線寬～”

“通過折射改變光源輸出～”

雙胞胎的學(xué)習(xí)成績(jī)向來吊打梁遠(yuǎn)，光線的折射又不是什么特別抽象的東西，在梁遠(yuǎn)比較明顯的提示下，兩個(gè)丫頭幾乎同時(shí)猜到了梁遠(yuǎn)所言的關(guān)鍵點(diǎn)。

“啊～啊～啊～豬頭好厲害！”

“啊啊豬頭終于靠譜了一次，港基集電那么多人都沒想出來從這個(gè)方向入手呢。”

高興的兩個(gè)丫頭微微抬頭獎(jiǎng)勵(lì)了梁遠(yuǎn)兩個(gè)親親。

“我這個(gè)只是原理而已，真正能不能用還不好說呢，明兒我還得找明白人好好問問～”

梁遠(yuǎn)很是得意的說道。

三人從湖邊回到家已經(jīng)是下半夜，兩家人的長(zhǎng)輩都被三人丟在了港島，洗漱過后道過晚安心情大好的寧婉菲在關(guān)上臥室的房門之前還撩了梁遠(yuǎn)一句要不要過來打地鋪，看著寧婉嘉似笑非笑的模樣把梁土豪嚇得落荒而逃。

隔日，心里有事的梁遠(yuǎn)也顧不上去安撫失火三人組，把事情向王蒙蒙三人解釋的工作交給兩個(gè)丫頭，梁遠(yuǎn)早起之后直接去了港基集電，依舊是把王欣、劉飛揚(yáng)、聶曉天三人逮到小會(huì)議室開會(huì)。

“大少，今天這是又從哪里撿到人了么？”

劉飛揚(yáng)發(fā)現(xiàn)開會(huì)的陣容和昨天一樣，說了一個(gè)溫度比較低的笑話。

哪有天天撿光刻機(jī)的，梁遠(yuǎn)兩世為人也就遇到這么一遭，梁遠(yuǎn)沒好氣的看了劉飛揚(yáng)。

“聶曉天，去把門鎖上，屋內(nèi)開的那種。”

梁遠(yuǎn)這句話一出口，技術(shù)大佬三人組都知道事情嚴(yán)肅了。

“我來吧～”

劉飛揚(yáng)收起輕松的心態(tài)，快步把小會(huì)議室的門鎖成手動(dòng)開啟的那種。

“昨天，聽大家討論193光源壁壘時(shí)，腦袋里就閃了個(gè)念頭過去～”

梁遠(yuǎn)也沒鋪墊直入主題。

“不過這個(gè)靈感就是閃了一下，然后就被我忘了～”

梁遠(yuǎn)做了個(gè)無奈的表情。

技術(shù)大佬三人組雖然都沒說話，不過神色都是十分統(tǒng)一的“特喵逗我”。

“晚上和兩個(gè)丫頭去食堂吃飯，心里就一直琢磨著這事兒，那種有件事情忘記了卻馬上就能想起來的那種感覺你們都經(jīng)歷過吧，我昨晚就是那種～”

“菲菲看我想得挺痛苦的，就開了幾瓶葡萄汽水～”

雖然梁遠(yuǎn)一本正經(jīng)的編著心靈雞湯，可葡萄汽水這個(gè)名詞一出口，小會(huì)議室還是響起了低低的笑聲，寧婉菲的葡萄口味汽水在遠(yuǎn)嘉已經(jīng)成了很著名的“梗”。

“哈哈哈，別笑～，開會(huì)呢～。”

梁遠(yuǎn)自己也笑場(chǎng)了。

“葡萄汽水還是有用的，人一進(jìn)入到微醺狀態(tài)，看東西的視界難免會(huì)扭曲變化有些失真～”

梁遠(yuǎn)巴拉巴拉的把自己看磁懸浮膠囊列車的光斑投影，在湖面寬窄變化進(jìn)而聯(lián)想到液體折射和光刻機(jī)鏡頭的事情聯(lián)系了起來。

牛頓之前，無數(shù)人被東西砸了腦袋也沒發(fā)現(xiàn)萬(wàn)有引力，梁土豪之前，無數(shù)的酒鬼醉眼迷離也沒想到光刻機(jī)的線寬，梁遠(yuǎn)自己覺得這鍋雞湯燉得還是蠻有格調(diào)的。

“你們說，如果把晶圓丟在水里光刻是不是有助于增大NA值～。”

梁遠(yuǎn)假模假樣的問了一句。

除了特別極端條件，物理定律肯定是不會(huì)變的，晶圓丟水里當(dāng)然會(huì)變相增大鏡頭的NA值。

“臥艸！”

技術(shù)大佬三人組都被驚嚇了，劉飛揚(yáng)和聶曉天甚至連不符合社會(huì)期待都語(yǔ)氣助詞都沒憋住。

王欣徹底的一副世界變化這么大，好像忽然見了鬼的模樣。

小會(huì)議室里一片寂靜，也不知過了多久，王欣喃喃的說道：“大少，我是徹底相信你是被賺錢耽擱了的科學(xué)天才了。”

劉飛揚(yáng)小小的“呃”了一聲，把差點(diǎn)脫口而出的大少是真有吉祥物屬性的話硬生生的咽了回去。

昨晚劉飛揚(yáng)和聶曉天應(yīng)酬完方偉林一行人，兩人結(jié)伴回家時(shí)還笑言港基集電有吉祥物屬性的大少，193納米光源壁壘肯定得我們追上來才能突破，哪成想只是回家睡了一覺，第二天梁遠(yuǎn)就直接爆種了。

鏡頭上加水這玩意一旦捅破了后邊差不多是一馬平川，對(duì)于技術(shù)大佬三人組隨便拿張紙就能算出來這東西的前景。

水的折射率是1.44，港基集電目前營(yíng)運(yùn)的晶圓生產(chǎn)線線寬是5微米，如果像梁遠(yuǎn)所言的直接在水里光刻都不用變動(dòng)光刻機(jī)的鏡頭組數(shù)和更換新光源，直接就能把線寬變成3.5微米。

“大少這個(gè)想法簡(jiǎn)直天才～”

“十年之前，干式蝕刻和濕式蝕刻就有過路線之爭(zhēng)，結(jié)果干式蝕刻把濕式蝕刻給淘汰了，沒想到換了個(gè)思路濕式居然又復(fù)活了。”

“老聶，你這話可不準(zhǔn)，形象點(diǎn)說干式蝕刻和濕式蝕刻是沖洗，和大少這個(gè)完全是兩碼事。”

光刻機(jī)、蝕刻機(jī)都是晶圓生產(chǎn)線的核心設(shè)備，由于晶圓生產(chǎn)的技術(shù)原理起源于相機(jī)，因此可以近似的把光刻機(jī)看成拍攝，蝕刻機(jī)看成沖洗，加工完成的晶圓就是相片。

七十年代中期，主流蝕刻機(jī)對(duì)經(jīng)過光刻機(jī)曝光之后晶圓都是采用液體化學(xué)溶劑沖洗光刻膠，因此也叫濕式蝕刻，七十年代末八十年代初，東洋尼康采用氣體沖洗的干式蝕刻機(jī)研制成熟，只用了幾年的時(shí)間就淘汰了操作復(fù)雜腐蝕污染嚴(yán)重的濕式蝕刻。

可惜，整整二十多年，整個(gè)東洋也沒人想到把濕式工藝挪移到上一個(gè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)。

一般來說，浸入式光刻機(jī)有三種技術(shù)路線：

第一種是噴淋法，顧名思義就是把水噴到晶圓上然后再迅速帶走，常見的噴淋法工藝是在鏡頭的一側(cè)設(shè)置一個(gè)超精密噴嘴，隨著鏡頭加工運(yùn)動(dòng)把水噴到鏡頭下方，然后從鏡頭的另一側(cè)把水吸走。

這個(gè)方法對(duì)超精密加工能力和計(jì)算機(jī)控制能力要求極高，在鏡頭下方的工作區(qū)穩(wěn)定的建立起那層超薄水膜不比生產(chǎn)光刻機(jī)簡(jiǎn)單到哪去，如果精密加工和精密控制的能力不行，會(huì)導(dǎo)致晶圓邊緣的曝光很差，嚴(yán)重影響晶圓生產(chǎn)線的良品率。

不過噴淋法最大的優(yōu)點(diǎn)就是能完整的利用現(xiàn)有設(shè)備，可以說這套噴水和吸水的設(shè)備完全獨(dú)立于晶圓生產(chǎn)線，只和光刻鏡頭聯(lián)動(dòng)，進(jìn)行晶圓生產(chǎn)線技術(shù)升級(jí)時(shí)難度和改建成本都極低。

第二種叫浴缸法，這個(gè)方法和梁遠(yuǎn)剛剛說的靈感類似，就是把整片晶圓都丟在水里，裝晶圓的容器→浴缸隨著晶圓工作臺(tái)移動(dòng)。

這種方法的好處是工程上的技術(shù)難度較低，不會(huì)對(duì)晶圓生產(chǎn)線的良品率造成負(fù)面影響，不過缺點(diǎn)是要對(duì)現(xiàn)有的晶圓生產(chǎn)線做較大的改動(dòng)，必須研制全新的能在水中工作的光刻膠，必須對(duì)晶圓工作臺(tái)加以改進(jìn)，而且由于晶圓工作臺(tái)上增加了水的重量，晶圓生產(chǎn)線的生產(chǎn)節(jié)拍也會(huì)隨之改變，相比噴淋法晶圓生產(chǎn)線的生產(chǎn)效率會(huì)有一定幅度的下降。

第三種叫泳池法，就是把整個(gè)光刻程序都丟進(jìn)水里來完成，這種方法雖然能最大化的減少線寬，不過在水中操作相當(dāng)于重新研發(fā)一套晶圓生產(chǎn)體系，無論工程難度還是經(jīng)濟(jì)成本都雙雙過高。

新世紀(jì)之后，浸入式光刻機(jī)的國(guó)際主流路線采用了噴淋法，不過以港基集電目前的實(shí)力來說，第二種浴缸法才是最合適的，新世紀(jì)之后尼康和艾斯摩爾之所以選了噴淋法路線，一個(gè)是兩家精密加工和精密控制的水準(zhǔn)高沒門檻，另一個(gè)是國(guó)際上現(xiàn)存的光刻設(shè)備大部分都是這倆家賣的，當(dāng)然是升級(jí)成本越低升級(jí)方式越簡(jiǎn)單越好。

九十年代初，制程工藝和芯片設(shè)計(jì)之間的分界遠(yuǎn)沒有未來那般清晰，技術(shù)大佬三人組目前雖然都是以芯片設(shè)計(jì)為主業(yè)，但三人都對(duì)晶圓制程了如指掌，隨便丟到那條產(chǎn)線上當(dāng)個(gè)線長(zhǎng)絕對(duì)是富富有余。

劉飛揚(yáng)在紙上龍飛鳳舞的寫了大半張的算式，然后抬頭用無法置信的語(yǔ)氣對(duì)梁遠(yuǎn)說道：“大少，如果從西門子引進(jìn)的設(shè)備投產(chǎn)，把大少這個(gè)想法放進(jìn)生產(chǎn)線，我們直接就攆上國(guó)際先進(jìn)水準(zhǔn)了～～”

港基集電主導(dǎo)的共和國(guó)的火炬計(jì)劃屬于基礎(chǔ)科研類，壓根就沒有保密一說，港基集電的財(cái)務(wù)審計(jì)是通過第三方的會(huì)計(jì)師事務(wù)所交叉審計(jì)，梁遠(yuǎn)打算采購(gòu)大批的國(guó)產(chǎn)5微米晶圓生產(chǎn)線，在財(cái)務(wù)報(bào)表上根本無法隱藏。

當(dāng)然，引進(jìn)第三方會(huì)計(jì)師事務(wù)所雖然一定程度上不利于企業(yè)保密，但對(duì)國(guó)際交流引進(jìn)技術(shù)還是很有促進(jìn)作用的。

隨著港基集電5微米晶圓產(chǎn)線的成熟量產(chǎn)，此時(shí)的海外電子產(chǎn)業(yè)界巨頭已經(jīng)意識(shí)到，3微米線寬對(duì)港基集電來說隨時(shí)都可能獲得突破，一旦港基集電自主突破了3微米的制程技術(shù)，2微米的海外制程技術(shù)很可能沒有花大價(jià)錢引進(jìn)的必要了。

因此這次蘇良宇等人這次去西門子談判，受到了西門子半導(dǎo)體極為熱情的接待，和三個(gè)月之前的態(tài)度簡(jiǎn)直判若兩人，甚至西門子還承諾會(huì)在歐洲電子行業(yè)內(nèi)部展開游說，爭(zhēng)取盡早把2微米制程技術(shù)撤下巴統(tǒng)的監(jiān)控名單。

實(shí)際上，哪怕沒有梁遠(yuǎn)干擾歷史，在九一年的下半年巴統(tǒng)組織自己就開始討論，把2微米制程技術(shù)對(duì)共和國(guó)開放綠燈的可行性。

不過那時(shí)放寬政策的背景是北極熊轟然倒塌，共和國(guó)北上挖墻腳，海外電子集團(tuán)生怕共和國(guó)借用北極熊的電子產(chǎn)業(yè)人才快速崛起，決定放寬技術(shù)的出口標(biāo)準(zhǔn)用來影響共和國(guó)的電子產(chǎn)業(yè)政策。

“海外最先進(jìn)的0.5微米制程還沒投產(chǎn)，目前已經(jīng)投產(chǎn)中最先進(jìn)的生產(chǎn)線只有東芝、NEC、摩托羅拉三家的1.0微米線，按英特爾的技術(shù)路線圖0.5微米的生產(chǎn)線要明年第三季度才開始運(yùn)行，蘇總那邊正在和西門子談1.5微米的線，如果我們動(dòng)作快一點(diǎn)，在1.5微米制程的基礎(chǔ)上搞大少提出來的這個(gè)東西，能把制程線寬直接推進(jìn)到1微米，海外的電子集團(tuán)怕是得瘋吧～”

九十年代，海外壓制共和國(guó)電子產(chǎn)業(yè)的技術(shù)代差基本都是穩(wěn)定保持在三代，如果按聶曉天所說直接把制程線寬搞到1.0微米，可就真的踩到老外的尾巴了，肯定得真瘋，港基集電搞不好會(huì)丟在無影燈和放大鏡下吊起來觀察。

“這些事先另說，先搞個(gè)簡(jiǎn)單的框架出來，有什么注意事項(xiàng)現(xiàn)在就寫，然后去實(shí)驗(yàn)室中試車間試試我說的想法。”

“就算能成也別改老外的設(shè)備，我們直接改國(guó)產(chǎn)的方便，5.0線寬和3.0線寬真較真可以說是兩種芯片了，改海外的的線就算能改成功才多大一點(diǎn)產(chǎn)量，除了虛名沒大用。”

梁遠(yuǎn)否掉了聶曉天的假設(shè)。

“我先來提吧，第一個(gè)水的純度問題，普通水里的氣泡雜質(zhì)什么的肯定會(huì)嚴(yán)重影響良品率，我們能用的肯定是超純水，我估計(jì)一般實(shí)驗(yàn)室里用的超純水很可能還不成，得上最頂尖的那種純度起碼要六個(gè)九，不過這東西的來源還得看大少的～”

王欣所言超純水的純度差不多微觀到了分子級(jí)別，起碼得把水中的重水全都分離出去，共和國(guó)能生產(chǎn)這玩意的部門怕是只有核工業(yè)部一家能干。

一般來說，王欣要的那種超純水是分離重水的副產(chǎn)物，這東西全球有能力生產(chǎn)的估計(jì)兩只手就數(shù)得過來了，重水的價(jià)格在九十年代是5元每毫升，這個(gè)副產(chǎn)物價(jià)值多少還真沒法衡量

“這個(gè)問題我來解決。”

梁遠(yuǎn)倒是雷厲風(fēng)行，直接抄起電話聯(lián)系人在港島休假的寧雷。

兩個(gè)中年婦女要在家里享受天際線游泳池，因此寧雷和老梁同志哪也沒去，梁遠(yuǎn)第一時(shí)間就找到了人。

“小遠(yuǎn)怎么想起來給寧叔打電話了，莫非是燒的太嚴(yán)重被東大開除了不成～。”

寧雷笑著和梁遠(yuǎn)開玩笑，可對(duì)于梁遠(yuǎn)來說，寧雷第一句話就一語(yǔ)中地直接把天給聊死了。

這破事兒都簡(jiǎn)直了，雖然和兩個(gè)丫頭同桌的未來非常值得期待，可這事兒該怎么和家里解釋梁遠(yuǎn)想想就腦殼痛。

“寧叔，我在港基集電這邊開技術(shù)會(huì)議呢，如果不出意外，日后的保密級(jí)別應(yīng)該是絕密。”

梁遠(yuǎn)決定暫時(shí)無視自己被打回高中的事實(shí)，先用工作把家里人應(yīng)付過去。

“哦，有什么需要小遠(yuǎn)直說。”

一聽是絕密，寧雷知道梁遠(yuǎn)不可能拿這種事情開玩笑，態(tài)度頓時(shí)嚴(yán)肅了起來。

“港基集電在搞一種能追上國(guó)際頂尖制程線寬的技術(shù)，需要分子級(jí)別的超純水，最好是重水分離的副產(chǎn)物～。”

“需要多少？”

寧雷言簡(jiǎn)意賅。

“需要多少？你們?nèi)齻€(gè)碰一下？”

梁遠(yuǎn)轉(zhuǎn)頭問技術(shù)大佬三人組。